晶圆切片
以较小的间隔宽度提供高产能和精度。
随着晶圆切片（尤其是 LED 晶圆划线）的运动要求变得更加严格，我们将继续创新并制定新的解决方案，以应对该工艺流程面临的严峻挑战。
跨轴校准
我们的跨轴校准功能突破了动态直线度性能的极限，允许垂直运动工作台在任一轴运动期间进行微调以抵消直线度误差 — 可让您在不影响加工质量的情况下更快地切割晶圆。
随着晶圆切片（尤其是 LED 晶圆划线）的运动要求变得更加严格，我们将继续创新并制定新的解决方案，以应对该工艺流程面临的严峻挑战。
我们的跨轴校准功能突破了动态直线度性能的极限，允许垂直运动工作台在任一轴运动期间进行微调以抵消直线度误差 — 可让您在不影响加工质量的情况下更快地切割晶圆。