晶圆检测与计量
增强先进的晶圆加工系统。
我们为薄膜测量、光学晶圆检查、电子束检查、显微镜和掩模版/掩模检查提供解决方案。
高度精准
我们的平面气浮轴承解决方案，再加上激光干涉仪，可更大限度地减少晶圆平面误差和 Abbe 偏移。采用先进的碳化硅运动控制解决方案可提供纳米级定位和实现晶圆制造高产能。
洁净室制造
我们以更高水平的清洁度实施下一代晶圆加工。我们的温度控制、ISO 6 级洁净室设施符合 ISO 5 级标准，可确保高质量、可靠地制造我们的定位解决方案。
