晶圆检测与计量 增强先进的晶圆加工系统。 我们为薄膜测量、光学晶圆检查、电子束检查、显微镜和掩模版/掩模检查提供解决方案。 更通用的定位解决方案 我们在为晶圆检查市场设计标准串行堆叠晶圆平台、薄型集成 XY 运动平台和平面空气轴承解决方案方面拥有 50 多年的经验。当标准系统不起作用时，我们可以打造自定义解决方案以满足您的确切需求。 高度精准 我们的平面气浮轴承解决方案，再加上激光干涉仪，可更大限度地减少晶圆平面误差和 Abbe 偏移。采用先进的碳化硅运动控制解决方案可提供纳米级定位和实现晶圆制造高产能。 洁净室制造 我们以更高水平的清洁度实施下一代晶圆加工。我们的温度控制、ISO 6 级洁净室设施符合 ISO 5 级标准，可确保高质量、可靠地制造我们的定位解决方案。 相关产品 工作台和致动器 View 运动控制平台 View 定制工程运动系统 View 发动机 View 龙门架 View 六足平台 View
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